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台積電11日召開股東會,董事長張忠謀強調,多年來持續投入研發與資本支出以擴大技術領先,同時藉由密切的客戶夥伴關係,強化在行動運算市場的領導地位;客戶仰賴台積電提供先進製程,使他們速度更快、更低耗電、尺寸更小的創新設計得以問世,相信台積電已做好準備,迎接未來行動產品市場的高度需求;他表示,20奈米產品預計2014年正式進入量產。
在技術發展上,他說,在28奈米製程技術的堅實基礎上,增加更先進的20奈米系統單晶片(20-SoC)及三維(3D)鰭形場效電晶體(FinFET)架構的16 奈米製程的技術開發。
張忠謀表示,不論是在專業積體電路製造服務領域,或是以整個半導體產業而言,20奈米製程與16奈米FinFET 製程都代表目前最先進的製程技術,這兩項技術的研發也在持續進行中。2012年11月開始採用20奈米系統單晶片製程技術為客戶生產測試晶片,預計2014年正式進入量產。
他表示,2012年完成16奈米FinFET 製程的定義後即進行開發,迅速且順利地完成測試晶片的產品設計定案,並在以FinFET 架構為基礎的靜態隨機存取記憶體單位元(SRAM Bit Cell)上展現功能性良率。
由於20-SoC 製程與16 奈米FinFET 製程導線密度的相似性,預計在20-SoC 製程推出1年後,緊接進入16 奈米FinFET 製程試產,量產速度較前幾代製程更快;同時,採用多重曝光顯影機台的10 奈米製程前導作業也已起步,目前正著手開發創新製程以因應先進世代技術所帶來的獨特挑戰。
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